原子力顯微鏡(atomic force microscopy)是種以物理學原理為基礎,通過掃描探針與樣品表面原子相互作用而成像的新型表面分析儀器。般原子力顯微鏡利用探針對樣品掃描,探針固定在對探針與樣品表面作用力極敏感的微懸臂上。懸臂受力偏折會引起由激光源發(fā)出的激光束經(jīng)懸臂反射后發(fā)生位移。檢測器接受反射光,后接受信號經(jīng)過計算機系統(tǒng)采集、處理、形成樣品表面形貌圖像。
lumina at2-efem可以在2分鐘內完成300毫米晶圓的掃描,對于基底上下表面的顆粒、凸起、凹陷、劃痕、內含物等缺陷均可一次性成像。在透明基底,如玻璃,化合物半導體如氮化鎵、砷化鎵、碳化硅等樣品上有獨特的優(yōu)勢。也可用于薄膜涂層的成像厚度變化的全表面掃描。大樣品300 x 300 mm。
film sense 多波長橢偏儀通過簡單的 1 測量,可以以高的精度和精度測定大多數(shù)透明薄膜的薄膜厚度和折射率并對許多樣品進行光學常數(shù) n&k 等薄膜性質的測量。多波長橢偏儀提供了強大的薄膜測量功能售價只是單一波長橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。film sense 偏儀非常適合在研究實驗室教室,現(xiàn)場處理室,工業(yè)質量控制等等。